지난 8일 오전 9시3분께 일본 스미토모그룹 자회사인 경기도 화성의 한 반도체용 화학물질 제조공장에서 독성물질인 디클로로실란 30kg이 누출됐다. 이 사고로 현장에서 일하던 근로자 오모(28)씨가 오른팔과 양다리에 2도 화상을 입는 경상을 당했다. 경찰과 소방당국은 화학물질 제조 중 기계 실린더 부분에서 화학물질인 디클로로실란이 누출된 것으로 보고 정확한 사고 경위를 조사하고 있다. 참고로 디클로로실란은 반도체 제조공정에 쓰이는 화학물질로 인화성이 높다.